Dây nano silíc đơn tinh thể và linh kiện cộng hưởng hệ số phẩm chất cao trên cơ sở công nghệ vi cơ khối ướt cho ứng dụng trong các hệ thống nano

Đại diện Nhóm nghiên cứu: PGS. TS. Chu Mạnh Hoàng

PTN Công nghệ vi hệ thống và nano quang tử

Tên đề tài: Ứng dụng trong chế tạo transistors cho mạch tích hợp và pin mặt trời

Dạng mảng 2 chiều và cột, kích thước dây từ 20 nm – 50 nm
Chiều dài dây từ 10 µm – 1 mm