QUY TRÌNH CHẾ TẠO MÀNG LỌC KHÍ H2S TRÊN CƠ SỞ MÀNG MỎNG NANO 3 LỚP WO3/Pt/SnO2

Thứ bảy - 31/01/2026 23:25

Tác giả chính: Nguyễn Văn Toán
PTN Cảm biến và Thiết bị thông minh
Ngày cấp: 24/10/2025
Tóm tắt: Sáng chế “Quy trình chế tạo màng lọc khí H₂S trên cơ sở màng mỏng nano 3 lớp SnO₂/Pt/WO₃” trên cơ sở màng mỏng nano 3 lớp được tạo ra trên mặt phẳng đế silic ô xít, bao gồm các thành phần như điện cực Cr/Pt. Vật liệu nhạy khí là màng mỏng nano 3 lớp SnO₂/Pt/WO₃ được phún xạ hoạt hóa và phún xạ trực tiếp trên hai đầu điện cực như trên hình 1. Sáng chế này khác biệt ở chỗ là sử dụng trực tiếp của màng mỏng nano 3 lớp là ôxít thiếc, platin và ôxít vonfram (SnO₂/Pt/WO₃). Cảm biến lọc khí H₂S và đo khí H₂, NH₃ dựa trên cơ sở màng mỏng nano 3 lớp có thể thực hiện bằng cách áp dòng điện trực tiếp qua màng mỏng trong quá trình đo tín hiệu. Chúng tôi đã tạo ra được một loại cảm biến có thể lọc được khí H₂S và đo được hai loại khí là H₂ và NH₃ bằng cách thay đổi chiều dày cũng như nhiệt độ làm việc của cảm biến. Việc kết hợp hiệu quả màng mỏng nano 3 lớp cho phép chúng ta phát triển được thế hệ cảm biến khí mới có độ chọn lọc cao và tiêu thụ ít công suất siêu thấp và còn có chức năng như một màng lọc khí. Đây là cơ sở để phát triển các màng lọc khí trên cơ sở vật liệu màng mỏng nano nhằm nâng cao khả năng ứng dụng trong thực tế cuộc sống. Các cảm biến chế tạo được có thể được sử dụng để đo và phát hiện các loại khí độc hại, khí cháy nổ trong môi trường như H₂, NH₃, CH₄, CO và H₂S ở nồng độ cỡ phần triệu.

Những tin mới hơn

Những tin cũ hơn