Hệ thống mũi dò quét cho khắc trường gần

Tác giả chính: Chu Mạnh Hoàng
PTN Công nghệ vi hệ thống và nano quang tử
Ngày cấp: 24/10/2025
Tóm tắt: Sáng chế đề cập đến hệ thống mũi dò quét cho khắc trường gần. Hệ thống mũi dò quét có thể được tạo ra từ một hoặc nhiều mũi dò quét, chúng có thể có cùng hình dạng hoặc khác hình dạng. Các mũi dò quét có hình dạng khác nhau được chế tạo từ các sợi quang. Mỗi mũi dò quét được cấp cùng một nguồn hoặc khác nguồn ánh sáng laze, có thể được cấp đồng thời hoặc từng nhóm mũi nhọn khi sử dụng các bộ chuyển mạch hoặc bộ chia nguồn ánh sáng. Mỗi mũi dò quét được điều khiển độc lập theo 3 chiều xyz và quay. Khoảng cách cũng như vị trị tương đối giữa các mũi dò quét có thể được điều khiển. Để khắc mẫu khi sử dụng đầu dò quét, một mũi dò quét hoặc một nhóm mũi dò quét có thể cùng hoạt động để tăng hiệu suất khắc mẫu. Trong quá trình khắc, mẫu có thể chuyển động quay và tịnh tiến theo ba chiều xyz hoặc mũi dò quét có thể chuyển động quay và tịnh tiến theo ba chiều xyz. Hệ thống mũi dò quét được đề xuất có thể sử dụng trong sản xuất các linh kiện và cấu trúc có kích thước micromet và nanomet.